氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響；檢測的數(shù)據(jù)；自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氦氣檢漏儀關(guān)鍵零部件集優(yōu)采購，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性；真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、；
氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的? 氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的, 我們以磁偏轉(zhuǎn)型的氦質(zhì)譜檢漏儀為例進(jìn)行說明。 在質(zhì)譜室的離子源N內(nèi)，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成東，并以-定的速度經(jīng)由縫隙S1進(jìn)入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有-定速度的離子束，將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng)。調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束M z恰能通過縫隙S2到達(dá)收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設(shè)備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束則以不同的偏轉(zhuǎn)半徑而被分開。
檢漏儀調(diào)成真空模式，對檢漏儀和機(jī)組進(jìn)行連接，開啟檢漏儀，當(dāng)真空度達(dá)到檢漏儀開檢壓力后，對機(jī)組可能的泄漏點(diǎn)吹噴氦氣，當(dāng)氦氣泄漏量達(dá)到檢漏儀設(shè)定的報(bào)警值時(shí)，檢漏儀報(bào)警。吹噴氦氣時(shí)應(yīng)當(dāng)注意以下幾點(diǎn):從機(jī)組的下方到上方，靠近檢漏儀處到遠(yuǎn)離檢漏儀處逐步噴吹。檢出大漏后要經(jīng)過修補(bǔ)再檢小漏。當(dāng)存在兩個(gè)鄰近的漏孔時(shí)，蓋住其中- -個(gè)漏孔再檢測另一個(gè)。當(dāng)噴吹某點(diǎn)時(shí)，檢漏儀顯示值有變化但較為緩慢，表明鄰近的其他地方有較大泄漏。檢漏場地應(yīng)有良好通風(fēng)，但不影響噴出氦氣的氣體流向。 總結(jié):氦質(zhì)譜檢漏儀在化鋰吸收式制冷行業(yè)廣泛應(yīng)用以后，使制冷機(jī)的壽命有著明顯提高，保證了化鋰制冷機(jī)15年以上的使用壽命
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